NewWay公司“非觸摸式多孔空氣軸承”獲專利
作為世界上最大的多孔介質(zhì)空氣軸承產(chǎn)物獨立制造商；NewWay空氣軸承公司日前宣告其非觸摸式多孔空氣軸承和鏡片修平設(shè)備現(xiàn)已取得美國專利號為7,908,885-B2的授權(quán).
鏡片厚度的改變差錯已成為更高一級光刻解決計劃進(jìn)行更明晰展現(xiàn)的限制性要素；因此；這種新方法能夠下降東西的需求并供給更高的光刻計劃.
NewWay空氣軸承公司運(yùn)用其空氣軸承技能將氣壓均勻分布于不計其數(shù)個空氣管外表；以此承載上千公斤的載荷.一起；真空孔和溝槽組件可供給幾十公斤的氣壓；這足以將玻璃修平來反抗氣體膜；并將之置于安全部位.這樣；跟著非觸摸式精細(xì)區(qū)構(gòu)成；最為平坦的鏡片外表也加工完結(jié).
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