美國(guó)空氣軸承公司“非觸摸式多孔空氣軸承”獲專利
作為世界上最大的多孔介質(zhì)空氣軸承產(chǎn)物獨(dú)立制造商；New Way空氣軸承公司日前宣告其非觸摸式多孔空氣軸承和鏡片修平設(shè)備現(xiàn)已取得美國(guó)專利號(hào)為7,908,885-B2 的授權(quán).
鏡片厚度的改變差錯(cuò)已成為更高一級(jí)光刻解決計(jì)劃進(jìn)行更明晰展現(xiàn)的限制性要素；因此；這種新方法能夠下降東西的需求并供給更高的光刻計(jì)劃.
該技能還能夠供給：
外表加工前即可進(jìn)行粘性鏟除
融化中；將工業(yè)廢氣或微粒阻隔
鏡片修平與粘結(jié)層預(yù)先涂層中的氣溫、濕度以及氧氣水平親近相關(guān)聯(lián).
New Way空氣軸承公司運(yùn)用其空氣軸承技能將氣壓均勻分布于不計(jì)其數(shù)個(gè)空氣管外表；以此承載上千公斤的載荷.一起；真空孔和溝槽組件可供給幾十公斤的氣壓；這足以將玻璃修平來(lái)反抗氣體膜；并將之置于安全部位.這樣；跟著非觸摸式精細(xì)區(qū)構(gòu)成；最為平坦的鏡片外表也加工完結(jié).
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